普乐斯料盒等离子清洗机、可定制
| 型号 | PM500L | |
| 控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) |
| 工控机+PLC控制 | ||
| 操作系统 | Windows | |
| 触摸屏 | 15寸 | |
| 整机规格 | 尺寸 | W1460×D1000×H1720mm |
| 腔体 | 尺寸 | W770×D670×H1160mm |
| 材质 | 进口铝合金 | |
| 电极 | 最大处理面积 | W620×D450mm |
| 层数 | 7层 | |
| 载具 | 材质 | 专用金属托架 |
| 套数 | 1套 | |
| 真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 |
| 流量计 | MFC质量流量控制器 | 5个;Ar、N2、O2、H2、CF4(可选) |
| 真空泵 | 泵组 | 1套 |
| 发生器 | 中频 | 40KHz,0~10KW |
| 额定功率 | 整机峰值功率 | 20KW |
| 机台供电 | 三相五线式 | AC-380V |
| 其他 | 工作真空度:20-60Pa,真空泵极限压力:4.0×10-1Pa,抽真空时间:≤100S,破真空时间: 20-40S |
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