燃料电池生产过程气体质量流量控制器 美国ALICAT氢气质量流量控制器 型号变体
- 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
- 阀门内置并加装气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
- 腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)
另有:
- 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)
燃料电池生产过程气体质量流量控制器ALICAT
燃料电池生产过程气体质量流量控制器 美国ALICAT氢气质量流量控制器 MCV和MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。
燃料电池生产过程气体质量流量控制器 美国ALICAT氢气质量流量控制器 型号变体
另有: