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Veeco为全球主流的成膜设备供应商，主要产品包括MOCVD、MBE、离子束沉积系统、离子束刻蚀系统等、PVD、ALD等。其中离子束设备为全球最大的设备供应商。SPECTOR双离子源光学镀膜系统是当今世界上最先进的高精度光学薄膜沉积平台。SPECTOR被广泛应用于各个工业生产领域，包括光通信行业，精密光学以及半导体行业。

Veeco 的 SPECTOR® 离子束沉积系统 (IBD)可实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。并具有多种夹具、靶标和先进光学监视系统选项，可满足制造各种光学薄膜所需要的良率和器件性能要求。

SOURCERER 系统管理器

SOURCERER® 系统管理器具有独特的图形界面，可显示实时及动画移动效果，与市面上的任何其他离子束系统控制套件相比，可提供更强的控制力和更大的灵活性。使用简单的命令或轻松导入的薄膜设计，工艺工程师可以开发高级自动化配方，启动进程运行，并在运行完成时返回。

根据客户实际需要，有多种硬件配置选择。SPECTOR根据客户需要，可以配置3个靶材或者4个靶材。更多的材料选择提高生产制作能力。各种配置的选择可以提高系统生产能力。

多种样品夹具

行星夹具 
为提高生产量，行星夹具能提供最大限度的镀膜范围。SPECTOR行星夹具具有独特的几何结构，提供极好的薄膜均匀性

单轴旋转高速夹具 
高速夹具提供最灵活最精确的膜层均匀性控制。高速旋转基片能得到相当高的薄膜均匀性，它能满足大面积的基片制备。根据客户样品的尺寸，可以在12英尺直径的基片夹具上，安装不同形状的各种基片。该夹具适用于高精确产品，产品研发以及小批量生产使用。

可翻转夹具
单轴旋转的夹具上面配备有六片可以随时翻转的桨片。使用这种夹具可以在不破坏真空环境的情况下镀制样品的两面。这种方式主要使用于激光应用。减少环境对薄膜质量的影响。同时还可以提供生产效率。

薄膜厚度监控系统

激光光学监控 
使用可调激光光源精确控制镀膜厚度。激光光学监控系统（OMS）提供全自动的控制界面。适合使用于要求高精度的薄膜设计：DWDM, CWDM, GFF, 增透/高反, 带通滤光片等等。

宽光谱光源光学监控 
全自动可视界面。提供最灵活的光学监控方案。宽光谱提供最灵活的波长选择。监控薄膜范围达到400nm-2000nm。