简易型组合式探针台
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样品台行程
XY均为110mm/150mm
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样品台Z轴行程
10mm
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样品台位移精度
标配3um(可升级)
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背电极测试功能
可以引出背电极
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真空吸附
进口无油真空泵7L/min
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样品台固定方式
环形真空吸附
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探针座行程
XYZ均为13mm
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位移精度
标配10um,可升级(1um,3um,电动)
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漏电精度
10pA(同轴线缆),100fA(三同轴线缆)
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安装方式
可调磁力吸附,真空吸附,螺丝固定安装
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接口形式
香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB
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成像方式
电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜
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放大倍数
7-200倍,(最大可升级成1000倍)
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CCD像素
2000W高清
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显微镜移动
XY行程25mm/50mm,分辨率3um
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显示器
12寸/24寸高清显示器,HDMI高清接口
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