奥林巴斯STM7工具测量显微镜
 
通过整合光学显微镜的测量能力实现精确测量
多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能
昆山玛基智能科技供应奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列采用了当前光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被完全消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。


作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量

共聚焦自动对焦系统光路

随着现代制造技术日益小型化和精密化，很高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为第一个成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。

严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精确度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

测量显微镜跟踪系统

STM7测量显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
[常见问题] 
Ÿ 短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
Ÿ 目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。
Ÿ 由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。
[STM7解决方案]
    共有四种独特的正方形测量行程的载物台可供选用，分别为：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。
Ÿ 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询昆山玛基智能科技。
使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]
大部分传统的测量显微镜只可以专用测量物镜或专用金相物镜，无法同时满足多种观察要求。
[STM7解决方案]
奥林巴斯STM7工具测量显微镜可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜，而更换为物镜转盘后，便可使用金相物镜。这意味着， STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式，无论是测量大型样品还是精细样品，或是表面高度差异大的样品，STM7系列都可以对应并协助用户选择较佳的观察方法。
测量物镜
由于测量物镜具有非常长的工作距离，因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候，无需担心物镜与样品之间发生接触。此外，借助测量物镜的低倍率能力，可以一次观察到较大的视场。 金相物镜
可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是，在明场观察之外还可以对应暗场，偏光和微分干涉观察。

明场图像

暗场图像

手动和电动调焦模式的选择
STM7测量显微镜系列包括手动调焦和电动调焦两个系列
对于Z轴的上下调焦，有手动型和电动型两种系列供您选择。请根据样品和测量内容选择符合您需求的机型，而不需要考虑载
物台的尺寸。所有的镜架均内置Z轴线性标尺，各种型号STM7都可以对应3轴测量。

手动Z轴调焦机型	手动Z轴调焦机型提供了卓越的成本效益——通过操作被广泛使用的调焦旋钮，可以快速的上下移动Z轴。为测量具有各种高度样品的用户提供了方便。
电动Z轴调焦机型	使用电动调焦装置可以大幅提高操作性，并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。粗微调焦的同轴旋钮设计使使用者可以以习惯的类似手动的方式进行操作，同时电动机型还可以配备自动聚焦单元。

一个具有突破性设计的控制单元大幅提升了测量显微镜的操作性
[常见问题]
Ÿ 增加功能时需要添置额外的操作单元。操作者需要同时操作多个单元而导致无法高效率地进行测量。操作时也经常会发生找不到操作单元的情况。
Ÿ 增加功能时需要添置额外的操作单元。操作者需要同时操作多个单元而导致无法高效率地进行测量。操作时也经常会发生找不到操作单元的情况。
[STM7解决方案]
控制装置
对于奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列，只要使用单一的操作装置能够执行几乎所有的测量显微镜操作，包括重置计数器、照明控制、调焦和自动聚焦等功能。为了提高效率和方便性，您可以将装置放在任何想要放置的位置，并可以轻松地单手操作。
单次对焦模式
执行自动聚焦后，可瞬间完成从大致的聚焦状态转为视场中心的清晰对焦。
跟踪模式
启用具有特色的追踪模式后会随样品表面的高低起伏自动对焦，即使在移动工作台的情况下，也可以始终保持合焦状态。这使得操作者在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实施观察，从而极大地提高了Z轴的测量效率。

旋转载物台
使用微调旋钮可以轻松实现对样品的平行对齐。
测量支持系统
即使对复杂形状也能实现更快、更简单、更精确的测量
对于显示测量显微镜输出的数据和图像来说，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和测量。为了支持高精度、高复杂性的测量，奥林巴斯测量软件可以和数码照相机结合使用。更多详细内容可咨询昆山玛基智能科技。

STM7规格

			小型手动镜架 STM7-SF	小型电动镜架 STM7-SFA	中型手动镜架 STM7-MF	中型电动镜架 STM7-MAF	大型手动镜架 STM7-LF	大型镜架 STM7-LFA
显微镜 镜架	聚焦	垂直移动范围	175 mm				145 mm
		zui大的测量高度	120 mm（配备测量物镜） 175 mm（配备金相物镜）				90 mm（配备测量物镜） 145 mm*1（配备金相物镜）
		Z轴测量分辨率	0.1 μm
		Z轴驱动方法	手动同轴 微调/粗调 焦旋钮	电马达驱动： ●聚焦按钮： 移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮： 微调焦速度（旋转 一周移动量） 有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)	手动同轴 微调/粗调 焦旋钮	电马达驱动： ●聚焦按钮： 移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮： 微调焦速度（旋转 一周移动量） 有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)	手动同轴 微调/粗调 焦旋钮	电马达驱动： ●聚焦按钮： 移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮： 微调焦速度（旋转 一周移动量） 有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)
	照明	LED照明	白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明
镜筒			正像单目镜筒，正像三目镜筒(100:0/0:100)
物镜		测量显微镜用	MM6-OB系列
		金相显微镜用	MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列
目镜			MM6-OCC10X (带十字线, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)
载物台		测量范围	STM7-CS50: X轴 50 mm, Y轴 50 mm STM7-CS100: X轴 100 mm, Y轴 100 mm		STM7-CS200: X轴 200 mm, Y轴 200 mm		STM7-CS300: X轴 300 mm, Y轴 300 mm
		测量精确度 (L：测量长度)	STM7-CS50: (3+L/50) μm STM7-CS100: (3+2L/100) μm		(3+4L/200) μm		(3+6L/200) μm
		精确度保证重量	STM7-CS50: 5 kg STM7-CS100: 6 kg		10 kg		15 kg
计数器显示		轴数	3轴
		单位	毫米/微米/英寸/密耳
		zui小分辨率	0.1 μm
外形尺寸（宽×长×高）（mm）			466 x 583 x651	466 x 583 x 811	606 x 762 x 651	606 x 762 x 811	804 x 1024 x 686	804 x 1024 x 844
重量			约84 kg	约92 kg	约152 kg	约159 kg	约277 kg	约284 kg
额定功率			100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A	100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A	100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220- 240V ~ 50/60Hz 0.6A/0.35A

*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。
物镜工作距离

倍率			1x	3x	5x	10x	20x	50x	100x
物镜
测量物镜	MM6-OB系列		59.6	76.8	65.4	50.5	-	-	-
金相物镜	MPLFLN系列	明场	-	-	20.0	11.0	3.1	1.0	1.0
	LMPLFLN系列	长工作距离	-	-	22.5	21.0	12.0	10.6	3.4
	MPLFLN-BD系列	明场/暗场	-	-	12.0	6.5	3.0	1.0	1.0
	LMPLFLN-BD系列	明场/暗场 长工作距离	-	-	15.0	10.0	12.0	10.6	3.3