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气体质量流量控制器

基本信息
产品名称:
气体质量流量控制器
英文名称:
国产/进口:
国产
产地/品牌:
爱拓利
型号:
MFC330
参考报价:
总点击数:
63
更新日期:
2024-11-28
产品类别:

性能参数
MFC330 系列气体质量流量控制器技术参数 
2 sccm  500 slpm 满量程
主要参数 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE
介质要求 Applicable media 洁净干燥气体 Clean, dry gases
气体种类 Gas type 98+气体可选 Available for 98+ types of gas
量程 Full Scale(N2 equivalent) 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm
测量范围measurement range 0.5%F.S. (1:200)
控制范围 Control range 1% - 100% F.S. (1:100)
准确度 Accuracy 标准 Standard:±1% F.S.   高精度High Performance:±0.5%
重复精度Repeatability ±0.2% F.S.
线性度Linearity ±0.2% F.S.
控制响应时间 Settling time (in control) <3秒  
预热时间 Warm-up time 5 min (T95), 30分钟最佳   30min for optimum accuracy
阀门Valve function 常闭式 Normally Closed
泄露率 Leak integrity 1*10-11 Pa·m3/sec He
 
机械特性 MECHANICAL
最大工作压力 Maximum pressure 3 MPa (30bar)
工作压差范围 Operating differential pressure 0 ~ 1 MPa
工作温度范围Operating temperature range -20 ~ 65℃ (环境和气体 ambient and gas)
湿度范围 Relative humidity range 0 ~ 98% 无凝露 No-condensing
气路接头类型Process connections 卡套,、VCR、快插、快拧 (可选)
(Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)
气体接触材质Material 氟橡胶、304/316不锈钢 (FKM, 300-series Stainless steel)
密封材质Seals 氟橡胶 FKM
防护等级 Ingress protection (housing) IP40
安装方式 Mounting 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation
固定孔 Mounting holes M4   5mm
重量 Weight 0.96 kg
 
电气和通讯 COMMUNICATIONS
电气连接接口类型Electrical connection DB – 9公头 (Male)
模拟信号 Analog input and output options 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA (可定制)
输入输出阻抗 Impedance resistance 输入阻抗>10MΩ,输出阻抗<1KΩ
模拟数据更新频率Analog data update rate 200Hz
数字信号 Digital input and output options Modbu RTU (RS232, RS485), CAN
通信速率 Digital data update rate 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用户可修改)
电源 Power requirements 15 – 40 VDC, <200mA
显示更新频率Display update rate 50Hz
模拟信号精度 Analog signal accuracy ±0.05%F.S.
 
特征 FRATURE
标况 STP reference conditions 20℃, 1 atm
气体选择Gas Select 可选,具体参考说明书气体系数
软件Software Aitoly分阶流量软件
 
尺寸 DIMENSIONS Weight
Full scale flow Height Width Depth A B C D E 重 量
2 sccm~30 slpm 125.00 mm 76.00 mm 32.00 mm 64.00 mm 17.80 mm 7.00 mm 6.00 mm  M4     5mm ≈0.96 kg
4.921 in 2.992 in 1.260 in 2.520 in 0.701 in 0.276 in 0.236 in M4     0.197 in ≈2.1 lb
100slpm-500slpm 138mm 82mm 38mm 62.mm 30mm 4mm 10mm M4     8mm 1.3kg
5.43in 3.22 1.496 2.220 1.181 0.157 0.393 M4    0.31in 2.88lb

 
公司简介
苏州爱拓利是国内极少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业。其产品的核心部件毛细管柱式传感器和高精度微型气体比例阀全面国产、自研自制率100%、全制程自主可控,其性能赶超进口同类产品。爱拓利目前已为多家重点大学实验室、科研院所、精密分析仪器厂家、生物制药厂家及、保设备及光电设备厂商提供流量计/控制器的软硬件配套产品。通过广泛的应用,爱拓利流量计产品的先进性、重复性和稳定性得到了充分的验证。爱拓利的愿景是成为一家在流体测控领域具有卓越影响力的创新型企业。我们专注于拥有完全自主知识产权、全面国产化的核心零部件的开发,以期打破进口产品的技术垄断,彻底摆脱对进口品牌的依赖,大力提升高端制程和高端科研中国产化替代水平和应用规模,致力于早日打造出全面国产化的高端可靠的流体测控产品,为解决我国基础科学及高端制程领域所面临的“卡脖子”困境贡献一份绵薄之力。

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