英微米晶圆表面微粒分析仪U-III
基本信息
产品名称：
英微米晶圆表面微粒分析仪U-III
英文名称：
国产/进口：
国产
产地/品牌：
英微米
型号：
U-III
参考报价：
248000
销售商：
总点击数：
96
更新日期：
2025-04-26
产品类别：
性能参数
U-III表面微粒分析仪：突破0.1微米检测极限，重新定义半导体洁净度标准。
2025年3月6日——全球领先的光电技术企业UK MICRON OPTOELECTRONICS正式发布全新升级的U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可精准检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。
该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。
传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次
测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒径分布误差：≤±30%
浓度示值误差：≤±30%
重复相对偏差：≤±10%FS
重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%
气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器
温度范围：-40 ～ 120℃
检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；
采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；
检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换
检测方式：定时检测、循环检测可设置
报警方式：自定义数量报警值、质量报警值
限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器
法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等
合 规 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921
2025年3月6日——全球领先的光电技术企业UK MICRON OPTOELECTRONICS正式发布全新升级的U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可精准检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。
该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。
传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次
测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒径分布误差：≤±30%
浓度示值误差：≤±30%
重复相对偏差：≤±10%FS
重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%
气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器
温度范围：-40 ～ 120℃
检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；
采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；
检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换
检测方式：定时检测、循环检测可设置
报警方式：自定义数量报警值、质量报警值
限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器
法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等
合 规 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921
公司简介
英微米光电（武汉）有限公司成立于2023年，英微米光电（武汉）有限公司 科技赋能精密检测 · 创新驱动产业升级 核心定位：聚焦纳米级光电材料与智能分析仪器的“研发-制造-服务”全链条高新技术企业 智能分析仪器：高精度表面粒子检测仪（如IMG-WH01系列）、纳米涂层材料分析仪 定制化解决方案：工业级传感器探针、实验数据可视化软件（支持进出口多语言版本） 电子新材料技术开发（碳基纳米涂层、光敏半导体材料） 检测仪器全生命周期服务（研发咨询→生产→运维→国际认证） 研发实力：依托武汉光谷光电产业集群，联合华中科技大学、武汉大学建立联合研发同盟 愿景使命：“以纳米精度定义行业标准”致力于成为全球工业检测与材料分析领域的技术领航者，为半导体、新能源、生物医药等行业提供高可靠性解决方案。
售后服务
相关视频
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资料下载
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