电子显微镜

蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案

基本信息
产品名称:
蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案
英文名称:
Sigma 360
国产/进口:
进口
产地/品牌:
德国/蔡司
型号:
Sigma 360
参考报价:
总点击数:
43
更新日期:
2026-02-10
产品类别:

性能参数
蔡司场发射扫描电子显微镜 Sigma 360 紧贴国内市场需求,凝结本土创新能力,成功开发 8 英寸晶圆全尺寸观察解决方案。无需大体积舱室,无碰撞风险,凭借高分辨成像能力与优异低电压表现,可精准测量关键CD尺寸,排查全制程各类微观缺陷,全方位满足半导体研究开发和生产制造的严苛要求,是半导体检测领域可靠伙伴。
[ 产品特点 ]
  • “全” 视野:可观察直径由原来的155毫米(6英寸范围)扩展至204毫米(8英寸全范围)
  • “高”分辨:搭载Gemini镜筒,助力关键尺寸测量,提供可靠数据支撑
  • “易”操作:极坐标软件控样台,鼠标搞定复杂操作,无碰撞风险,高效安全
  
[ 应用领域 ]
  • 半导体:PMIC、IGBT、MEMS、汽车电子、CMOS 图像传感器等
  
[ 应用案例 ]

8英寸Wafer全视野光镜导航图,可提供全尺寸电镜导航
 

晶圆上的光刻胶图形结构。俯视可测量宽度间距等,倾斜可观察并测量侧壁信息
 

简洁直观的软件界面
 
 
标题: 图片
高分辨观察孔洞图形结构光刻胶
 


低电压观察倾斜后的光刻胶侧壁细节
公司简介

关于蔡司
蔡司是全球光学和光电领域的先锋。蔡司致力于开发、生产和行销测量技术、显微镜、医疗技术、眼镜片、相机与摄影镜头、望远镜和半导体制造设备。凭借其解决方案,蔡司不断推动光学事业的发展,并促进了技术进步。公司共有四大业务部门:工业质量与研究、医疗技术、视力保健/消费光学和半导体制造技术。蔡司集团在40多个国家/地区拥有30多座工厂、50多个销售与服务机构以及约25个研发机构。
 
全球约27,000名员工在2016/2017财年创造了约53亿欧元的业绩。公司于1846年在耶拿成立,总部位于德国奥伯科亨。卡尔蔡司股份公司是负责蔡司集团战略管理的控股公司。公司由Carl Zeiss Stiftung(卡尔蔡司基金会)全资所有。
 

蔡司研究显微镜解决方案
蔡司研究显微镜解决方案是光学、电子、X射线和离子显微镜系统的一站式制造商,并提供相关显微镜的解决方案。产品组合包括生命科学和材料研究以及工业,教育和临床实践有关的产品和服务。该部门的总部设立在耶拿。其他生产和开发基地位于奥伯科亨,哥廷根和慕尼黑,以及英国剑桥、美国马萨诸塞州皮博迪和美国加利福尼亚州普莱森顿。蔡司研究显微镜解决方案属于工业质量和研究部门。部门约6,300名员工在2016/2017财年创造了总额达15亿欧元的业绩。


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