生物芯片处理

光刻机

基本信息
产品名称:
光刻机
英文名称:
国产/进口:
国产
产地/品牌:
中国
型号:
wh
参考报价:
总点击数:
1350
更新日期:
2015-01-12
产品类别:

性能参数
光刻机/紫外曝光机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、等工序
Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);
在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

 

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