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URE-2000A型光刻机

基本信息
产品名称:
URE-2000A型光刻机
英文名称:
国产/进口:
国产
产地/品牌:
中国光电
型号:
URE-2000A
参考报价:
1
总点击数:
4192
更新日期:
2017-06-08
产品类别:

性能参数

 URE-2000A型光刻机

◆ 曝光面积:150mm×150mm
◆ 分辨力:0.8-1μm(胶厚2μm的正胶)
◆ 对准精度:0.6μm
◆ 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 样片尺寸:直径15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均匀性: 3.5%(100mm 范围); 5%( 150mm范围)
◆ 掩模相对于样片运动行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
◆ 最大胶厚:500m(SU8胶,用户提供匀胶条件)
◆ 光源平行性:3.5
◆ 汞灯功率:1000W(直流)
◆ 曝光设定方式:定时(倒计时方式0.1s-999.9s任意设定)
◆ 外形尺寸:1400mm(长)1200mm(宽) 2150mm(高)
技术参数
配置
(1)曝光头
◆冷光椭球镜
◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
◆XYZ汞灯调节台
◆光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1
、准直镜镜2、蝇眼透镜组(100个透镜)、i线滤光片
、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
◆冷却风扇
◆循环水冷系统
(2)对准工件台
◆掩模样片整体运动台
◆掩模样片相对运动台
◆转动台
◆样片调平机构,自动完成
◆样片调焦机构,自动调
◆承片台4个(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)
◆掩模夹4个(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸)
◆基片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
◆光源(配备品2只)、电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)
◆物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)
(4)CCD对准系统
◆光源(配备品3只)、电源
◆成像光学系统
◆数据采集卡
◆CCD
(5)电控系统
◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜桌
◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)
(6)气动系统
◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
◆电磁阀驱动
◆气动仪表
(7)其他附件
◆真空泵一台(无油泵)
◆空压机一台(静音泵)
◆管道
(8)技术资料
◆使用维修说明书
◆显微镜使用说明书
WH-2000A
公司简介

上海汶昌芯片科技有限公司(Wenchang Chip Technology Co., Ltd.)是一家留学回国人员创立的高新科学技术企业,专注于微流控芯片科技的研究和开发,以应用类芯片系统为核心产品,形成了涵盖集成式通用生物医疗检测芯片、集成式通用环境保护监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片、基于微流控芯片的高通量药物筛选系统的四大系列数十个品种和针对性芯片实验室解决方案,已申请了多项国家发明专利,在国内微流控芯片产业化领域一直保持技术和研发的领先地位。

汶昌芯片是中国首批微流控芯片科技企业,集科研、生产、经营为一体,总部位于上海,在北京、天津、苏州等地设有分支机构和办事处。公司拥有一支高素质的研发团队,现有员工30多人,其中50%以上拥有硕士学历,中高级职称10人,博士学位人员5人,3人有海外学习和工作背景,1人具有MBA学历,1人具有国家注册会计师资格。公司技术力量雄厚,生产设备先进,检测手段齐全,产品质量过硬,在北京海淀区成立了完备的微流控芯片研发中心,在上海张江高科园区建立了微流控芯片生产中心,配置了三条芯片生产线,CNC数控微加工仪器、软刻蚀有机芯片加工系统和光刻-掩模无机芯片加工系统,并与2011年出资成立天津汶晟科技有限公司。

汶昌芯片提供的产品和服务按市场可分为科研类芯片、仪器标配芯片、应用类芯片试剂盒和芯片实验室解决方案。科研类芯片服务于微流控芯片科研工作者,提供包括聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、玻璃及硅基等各种不同材质的微流控芯片,用户只需注射器等进样设备即可使用;仪器标配芯片是针对国内市场上微流控芯片仪器开发的标准芯片,为微流控芯片仪器的核心组件,属耗材类产品;应用类芯片试剂盒是利用微流控芯片的技术优势开发的分析装置,包括环保、医疗、食品安全、药物筛选等四大类产品;芯片实验室解决方案即整套微流控芯片解决方案,分为产品和科技咨询两个方面,产品包括微流控芯片加工检测仪器设备及微流控芯片配件,科技咨询为客户提供组建芯片实验室、解决微流控芯片技术难题、微流控项目研发等服务。

在高速成长的过程中,汶昌芯片建立了市场动作体系和客户保障机制,形成了以微流控芯片产品开发、科技咨询服务、项目合作及基金申请业务及提供芯片实验室整套解决方案相结合的产品与科技服务体系,并逐渐成为拥有多项自主知识产权和持续创新能力的新兴企业,成为微流控芯片技术产业化领域以核心技术研发为依托、以自主设备与仪器为载体、以技术支持和售后能力为保障的全自动全方位解决方案供应商。

创新,将新技术转化为生产力是汶昌芯片的核心价值观。以发明创新为龙头,以科技成果转化为手段,以自动化领域为主战场,走科研成果商品化,商品产业化,产业规模化和国际化的道路,以自主核心技术为基础的竞争战略为企业长期发展战略,整合产业链的各项优势资源,打造以自主创新为企业特色的产业价值链,塑造民族知名品牌,迎接国际化的挑战是公司的宗旨。

凭借对微流控芯片行业的深刻理解,汶昌芯片创办伊始就秉承按照现代公司制度规范运作企业的基本理念,逐渐完善公司的团队结构、人事制度、财务制度、知识产权制度。汶昌芯片从未停止对公司持续发展的技术创新和新产业运营模式的探索与思考,我们将运用我们的智慧、谋略和胆识洞察市场,运用更加适合市场需求的商业模式来推广核心产品,为市场提供更高附加值的产品和解决方案,从而更好地服务社会、推动微流控芯片产业化进程。同时,“高品质、高信誉、高效率”是公司的口号。

“山高方知路远,水急才感源深”,汶昌芯片成长的过程,就是服务客户并和客户一起不断成功的过程!公司将继续在产品开发、推广和维护方面与客户默契合作,“以客户为中心”,将“服务”贯穿于公司运作和管理的每一个细节,努力赢得客户广泛的信任和支持;公司将继续以市场为导向,以创新为动力,以质量求生存,以发展求壮大。我们的明天充满希望!我们愿与社会各界朋友们一道,与中国及全球经济共同发展,协力打造中国高科技产业的辉煌!


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