主动隔振系统AIS
主动隔振系统AIS
● 主动电控气动隔振提供6个自由度的控制
● 最佳隔振性能,无共振时产生的任何增强现象
● 垂直和水平两个平面都有非常出色的水平精度
● 机器内的部件质量发生加速和减振移动后偏差和沉降时间最短。沉降时间越短,即等于机器产能越大。
● 非常有效的实时控制。
● 每个自由度由PLC,CAN总线,一个控制器,一个高速电控气动伺服阀进行控制。
● 每个控制器由一个微处理器,位置、空气压力和加速度集成高分辨率传感器组成。
● 操作使用方便,用于设定和优化AIS并提供系统诊断的智能化WinSNI软件。
● 通过使用数字式I/O可以简单的选择两种不同的操作模式,例如:扫描模式(在敏感机器运行过程中)到加载模式。
● 不需要从机器的控制器要求给进信号。
● 无由于电磁起动器/电动机而生成的干扰热量,磁性变化或者高电力消耗现象。
应用
最佳隔振性能,用于存在高动态力、进行灵敏度测量和检验的机器,平板印刷设备、激光设备、高分辨率电子显微镜,以及半导体工业机械。
当常规的带电控气动水平调整系统的空气弹簧隔振和沉降时间效率不充分时,可以使用AIS。
AIS具有两个主要功能:
一个主要功能是保护精密机械设备受到地面振动的影响。另一个功能是通过降低机器内运动件加速和减速时产生的高动态力造成的机构性振动现象来提高机器的性能。并且,降低了沉降时间,从而减少机器在可以进行敏感运行前的延时现象。
AIS设计
AIS由一个PLC、CAN总线、16位控制器、高速电控气动伺服阀门和BiAir空气弹簧以及HAB水平空气弹簧组成。由一系列规格尺寸可以提供垂直和水平空气弹簧。每个空气弹簧或者一组空气弹簧使用一个16位控制器和一个高速电控气动伺服阀门。AIS可以最低3组(自由度)到最高6组(自由度)进行运行。16位控制器可以直接安装到空气弹簧或者安装到机器上,安装方向与隔振装置运动方向一致。16位控制器内有一个微处理器、一个位置传感器(分辨率0.2Am),一个加速度传感器(分辨率8Ag)以及一个空气压力传感器(分辨率0.2mbar)。传感器的信号以4kHz速率进行采样。由于每个16位控制器有一个带专门开发的运算法则微处理器并带有专用的高动态气动伺服阀门,所以,相应的结果是实时控制非常有效,不需要给进信号。
16位控制器通过CAN总线连接到PLC。PLC可以通过一个标准的RS-232接口到PC机,用于初始设定和诊断。PLC的主要功能是管理和监控16位控制器。并且,PLC还具有信号输入和传输功能,例如:准备、运动完成、位置、压力和电力检查、扫描模式到加载模式的切换、紧急停止等。
AIS与普通空气弹簧相比的优势:
• 系统水平固有频率是可调的
• 系统水平阻尼可调
• 系统固有频率很低,高效隔振
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