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维意真空高真空多靶磁控溅射镀膜机支持定制

基本信息
产品名称:
维意真空高真空多靶磁控溅射镀膜机支持定制
英文名称:
国产/进口:
国产
产地/品牌:
WAYES-VAC
型号:
MS-450
参考报价:
280000元详情咨询15611171559
总点击数:
10534
更新日期:
2025-04-11
产品类别:

性能参数
MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机

真空腔室:直径450✕H400mm,1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,前开门结构;

真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选);

极限真空:优于5✕10-5Pa(经烘烤除气后);

真空抽速:大气~8✕10-4Pa≤30min;

升降基片台:2~6英寸基片台,靶基距60~120mm连续在线自动可调,旋转0~20r/min可调,可加热至500℃(可选水冷功能),可选配偏压清洗功能;

磁控靶:直径3英寸2~4只(可升级成直径4英寸靶2~3只),兼容直流和射频,可以溅射磁性材料的靶材;

溅射电源:直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选;

质量流量计:2~3路工艺气体,可根据工艺要求增加;

膜厚监控仪:可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪;

控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空。
公司简介

公司名称(现用名):北京维意真空技术应用有限责任公司
公司名称(曾用名):北京科立方真空技术应用有限公司
覆盖区域:北京、天津、河北

北京维意真空技术应用有限责任公司,原名北京科立方真空技术应用有限公司,创立于2013年,位于中国·首都北京密云经济技术开发区,主体经营分为真空配件销售、真空设备定制、浅蓝纳米科技三个部分,是北京从事真空产品设计、制造、销售、维修、保养于一体的专业性的公司,公司拥有一支专业、优秀的产品技术工程师和维修技术工程师,具有丰富的行业经验,同时还与北京工业大学联合研发等离子体增强化学气相沉积系统,与北京交通大学联合研发原子层沉积系统,满足高校、研究所的教学、科研使用,同时减少相关进口设备的市场占有率,并力争创造外汇,打出中国创造的名牌!
我们的客户遍布北京各高校和研究院所、部分军工单位和电力试验所、各级的材料、物理、化学、纳米等研究领域尖端的实验室,期待您就是我们的下一位客户、朋友!

您的满意微笑是我们一直努力追求的经营目标!
技术创新、业务专业、服务诚信是我们一直遵循的经营理念!

我们热诚欢迎国内外先进的仪器制造商及科学工作者与我们联系开展各层面的合作,打造成一流的真空系统产品、等离子体增强化学气相沉积系统和原子层沉积系统供应商。


售后服务
尊敬的客户: 首先感谢您对我们公司产品的信任! 我公司本着“以最合理的价格、最完善的服务、提供最优质的产品”的宗旨向您郑重承诺: 售后服务承诺 产品质保期为一年; 在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏; 在质保期外设备零部件的损坏,提供的配件只收成本费; 质保期内或质保期外如设备出现故障,供方接到用户的正式通知(含电话或邮件通知)后,我公司技术人员于48小时内,赶到技术服务现场并开始维修。
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