Hprobe 晶圆级测试仪
Hprobe 晶圆级测试仪
Speed-Up Wafer-level Magnetic Test
主要特点
§ 大范围面内和垂直场
§ 磁场三维可控
§ 旋转磁场
§ 嵌入式传感器校准 ( Hall 传感器 )
§ 自动化测试程序
§ MRAM 参数提取软件
§ 100mm~300mm 晶圆可测
§ 兼容标准探针卡
Hprobe 测试仪是磁场下晶圆级表征及测试的优选工具。它采用专利的3D磁场发生器和最先进的、可定制的、商业化硬件，为传感器到MRAM等磁性器件，提供完整的测试解决方案，该工具符合晶圆自动化 测试的标准。
技术说明
磁性 3D 发生器 特征
Hprobe 测试仪采用专利的3D磁场发生器，其 中每个磁场的空间轴都是独立驱动。通过控制 3 个轴的磁场，用户可实现任意方向磁场，同时 也可产生旋转磁场。 发生器提供所有的控制仪器、控制程序和校准 工具。
3D磁性发生器位于探测器上，在晶圆上生成局部磁场，探针位于磁场发生器与晶圆之间。发 生器和探测器卡盘之间的标准z轴间距为 1mm，500μm 到 5mm 内可调。
校准
测试仪并没有为所有可能的磁性配置提供详尽 的标准数据表。但用户能够自定义额外定制磁 场类型，校准相应的线圈电流以产生需要的场 类型。 校准包括：
§ 将理论磁场应用于待测器件
§ 沿三轴测量感兴趣区域内的磁场
测量数据用于补偿和调整在晶圆测试期间施加的磁场。 校准测量用嵌入在探测器内的 3D 霍尔传感器 完成。
3D 校准传感器特征
§ 角精度高
§ 灵敏度5V /特斯拉
§ 测量范围2特斯拉
§ 差分输出
§ 温度灵敏度：<100 ppm/°
§ 在探头上集成温度传感器用于温度补偿
晶圆探测器
Hprobe 测试仪是由工业标准的晶圆探测器构 成，囊括 100mm 手动探测器到 300mm 全自 动，适于生产的探测器。探测器通常包括：
§ 温控卡盘（热/冷）
§ 探针卡定位可视化操作
§ 晶圆装填器
§ 单一晶圆承载器
§ 嵌入式校准传感器
§ 破碎晶圆承载器（可选）
其他特定的 HW/SW 探针选项可根据客户要求 定制。
探测器控制是通过我们的测试程序驱动的，针 对探测器功能提供完全的用户访问权限。
仪器
Hprobe 测试仪提供全套仪器来驱动和测量大多数磁性器件，比如 MRAM（STT，SOT，电压控制），传感器（AMR，GMR，TMR）和磁性 MEMS。
预定义的仪器包括批量生产的源表（SMU），数字万用表（DMM），任意波形发生器（AWG）和脉 冲发生器。其他仪器可根据要求提供，并且可以轻松地集成在该工具的硬件和软件中。
源测量单元 (S M U )
§ 测量范围 ≥20mV
§ 量程≥ 1nA
§ > 3,000 读数/秒
§ 白噪声 2mV rms
数字万用表（ DM M ）
§ 18 位，测量范围 ≥100mV
§ 分辨率 10nV
§ 记录时间≥ 1μs
任意波形发生器（ AW G ）
§ 双通道，带宽 40MHz
§ 正弦波，方波与脉冲高达 30MHz
§ 斜率&三角波达 200kHz
探针 § 每个通道的任意波形 < 1Msample
§ 采样率≤ 250Msample/秒
脉冲发生器
§ 脉冲宽度≥ 300 ps
§ 脉宽精度 10 ps
§ 上升/下降时间 < 70 ps (20%-80%)
§ 输出幅度 10 mVpp~5 Vpp
§ 重复率 ≤500 MHz/每通道
§ 触发到输出晃动 < 35ps
Hprobe测试仪易拓展，用户可使用工业用探针，也可以使用装有DC和RF探针的显微操纵器。仅有的限制是磁场发生器和晶片之间的间隔在高磁场下必须保持尽可能的小（<1mm）。
测试程序
测试程序包括用于满足用户需求的所有功能，从材料表征到产品开发，到生产转化。 它以三种模式运行：
§ 校准 - 设置磁场的配置和创建用户定义模式。
§ 工程 - 运行预先实施的测试模式或创建并运行完整的自定义特性描述和测试程序。
§ 生产 - 从工程模式中利用优化时间来设置测试程序。
预先实施的测试模式包括（有或者无磁场）：
§ 开放/短期测试
§ 交流/直流 电流-电压，R-V 测试
§ 交流/直流击穿电压测试
§ 读/写脉冲测试
§ 隧道磁阻
§ 误码率
§ 器件循环测试
§ （I，V，H）相图
注释：
1 、 ST T - MR A M ： “ 万能存器 ”
自旋转移矩—磁随机存储器器件自旋转移矩—磁随机存储器器件（Spin Transfer Torque - Magnetic RandomAccess Memory：STT-MRAM）就是一种接近“万能存储器”要求的极具应用潜力的下一代新型存储器解决方案。
2 、磁定向 ( F i e l d O ri e n t a t i o n )
3、磁通密度B,单位面积的磁通,国际单位是 T[特斯拉]，磁通单位是 Wb[韦伯]，mT就是毫特斯拉；1T=1000mT=1Wb/m^2
北京普瑞亿科科技有限公司成立于2007年，是国内领先的仪器设备、系统方案和咨询服务提供商。普瑞亿科参与过科学技术部、中国科学院和北京市科学技术委员会等发起的多个设备研发项目，具有突出的仪器研发、设计和生产能力，可以提供多种痕量和温室气体分析仪、光谱和质谱同位素分析仪、室内和室外土壤呼吸测量系统等，致力为生态环保、能源地质、城市安全、农林牧渔、水文水资源、医疗健康、半导体等行业客户和研究机构提供系统解决方案。
普瑞亿科是国内较早提供高精度温室气体和同位素分析仪的制造商，针对 “双碳”市场需求，在遵循MVS（Monitoring-监测、Verification-核查、Support-支持）体系的前提下，为政府机关、科研院所、企事业单位及其它机构提供“双碳”行动有效性评估和碳核查所需的整套方案，包含监测设备租售运维、碳核查核算支持、碳源汇科学评价、以及区域“碳中和”建议。
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普瑞亿科注重产品应用培训和售前售后服务支持，投资逾千万设立开放实验室并取得CMA认证。开放实验室主要从事新产品研发立项评估及后期验证、测试方法探索及样品分析检测、售前售后技术拓展和支持、行业和地方标准修订和制定等。公司设有专业的技术支持服务团队始终坚守“科学严谨、快速高效”的服务理念，为客户提供7×24小时快速响应和全方位技术支持，协助客户优选科研工作中所需的最佳硬件、探讨科研方案设计、提供设备运维服务、分析科研数据等工作。稳定的产品质量与高效的服务支持赢得诸多客户的信赖，真正做到了“Science to Solutions”。
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