全自动原子层沉积系统(ALD)--性能参数，报价/价格，图片

基本信息

产品名称：

全自动原子层沉积系统(ALD)

英文名称：

ALD

国产/进口：

进口

产地/品牌：

美国维易科 Veeco

型号：

Phoenix G2 ALD Syst

参考报价：

销售商：

香港电子器材有限公司

总点击数：

702

更新日期：

2020-08-19

产品类别：

其它各类仪器

性能参数

Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，全球已安装五百多台ALD设备。

方式: Thermal batch ALD

优势: 大批量热ALD镀膜，可靠成熟，设计灵活，易于使用，并具有许多操作界面，许多内置安全功能

薄膜: 高达370 mm x 470 mm (Gen 2.5 Panels) / 100mm 晶片 - 240 to 360 / 150mm 晶片 - 80 to 160 / 200mm 晶片 - 80 to 100 / 300 mm 晶片 - up to 40 / 其它3D 对象自定义支架

设备尺寸: 900 mm x 1370 mm x 1700 mm

功率: 208 VAC 3 Phase, 8500 W (包含泵)

最高温度: 可达285°C

沉积均一性: Al2O3 晶片<1.5% / Al2O3批量<1%

前驱体源瓶: 3.1 l 源瓶或 600 ml

载气/排气: N2 or Ar MFC flow control

原位分析选项: 臭氧发生器, LVPD,集成手套箱, 半自动负载

自动负载, SECS/GEM 界面

公司简介

香港电子器材有限公司 ( www.teltec.asia) 成立于一九八五年，是一间为亚太地区半导体和电子及光电工业提供设备、材料以及技术销售、服务的公司。早在九零年代中就分别在台湾和新加坡设立分公司，以加强在远东地区的销售及服务能力。九零年代末期，亦在上海设立办事处，以迎接廿一世纪中国地区高科技领域飞腾时代的来临。到目前为止, 公司已於香港、新加坡、马来西亚、台湾及中国多个城市 (上海、北京、深圳、苏州、成都、天津、武汉、西安、无锡、厦门等) 均设有办事处，为客户提供**Z方便的服务。
香港电子器材有限公司作为多种高科技设备制造商在远东地区的总代理，主要服务于半导体封装厂、芯片生产厂、液晶显示器厂、电路板厂以及各大专院校和科研机构。我们的销售及服务团队均为合资格工程师，分别具备电子、电机、物理或化学学士、硕士学位及博士专衔，并有丰富而实际的应用经验，他们可以熟练地运用中英文 (包括能以普通话及广东话、闽南话或上海话等方言与客户交流)。经过原厂供货商的培训后，有效地为其客户直接提供良好的采购建议和售后服务。
香港电子器材有限公司独家代理中国地区有美国普林斯顿仪器、美国Ocean Insight 的CCD和光谱仪，科研级CCD和光谱仪在中国的销售、技术服务工作。公司代理的产品广泛用于天文、物理、化学、材料、生物、分子物理以及航天航空等专业科研领域。科研级CCD,ICCD,EMCCD等各种探测器以及光谱仪能给您的实验研究提供最佳的解决方案，让您的研究成果达到同行的最优秀水平。CCD以及光谱仪被中科院各研究所以及全国各高校广泛使用，老师反映的效果都很不错。希望我们专业、周到的销售技术一体化服务能为您的科学研究尽一份绵薄之力！

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