三维光学显微镜

ContourGT InMotion 三维光学显微镜具有先进、可靠、全面的表面分析功能，能够实时表征运行中的动态MEMS器件及其他微器件的形态。这种台式显微镜系统运用白光干涉的原理，能够以非接触的方式测量激励状态下的MEMS器件表面三维形貌特征，测量范围从0.1nm到10mm。ContourGT InMotion 将Bruker频闪技术与工业领先的Vision® 数据采集/分析软件完美结合，能够同时实现微器件的静态测量和动态分析，测量频率范围从11Hz到2.4MHz。ContourGT InMotion融合了灵活的分析，便捷的操作与先进的技术，是表征特征频率和测量形态变化、表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸的理想解决方案，有助于提高器件的质控水平和产量。

 全面的 MEMS测量解决方案

§ 快速、准确、非接触式的微器件静态/动态3D表征

§ 11Hz到2.4MHz超宽测量频率范围，完整周期内

全面的器件动态分析频率、振幅和相位响应表征

§ 纵向分辨率小于1nm

§ 在动态和静态模式下准确测量0.1nm至10mm高度范围内的特征形貌

源自数十年持续的硬件创新

ContourGT InMotion采用Wyko®数十年干涉技术创新的结晶，为您提供最先进的光学形貌测量功能和前所未有的可靠性。强大的驱动电路和简洁的桌面式平台结构实现了卓越的操作稳定性。

具有技术的频闪照明系统能够实时捕获并测量样品运动周期内的动态变化，测量频率范围从11Hz到2.4MHz。最终的测量结果是样品三维运动的慢镜头视频。

此外，您还可以选择获得R&D 100大奖的Through Transmissive Media (TTM)模块。此模块能够透过样品表面的保护层、气氛腔及其他色散材料（厚度<3mm），准确的测量样品的三维形貌。

专为MEMS设计的软件

ContourGT InMotion采用Bruker广受赞誉的Vision数据采集/分析软件，使系统的操作和数据的分析非常简便、直观和灵活。基于模板自动匹配的SureVision软件能够帮助用户可靠的定位特征形貌并测量面内和面外的形貌变化。

定制分析软件能够迅速便捷的采集并表征特征频率、形状/形变、位移、表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸、其他形貌特征以及用户自定义的测量参数，具有无与伦比的精度和准确性。