EVG®7200 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻
基本信息
产品名称：
EVG®7200 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻
英文名称：
EVG®7200 Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography S
国产/进口：
进口
产地/品牌：
奥地利
型号：
EVG®7200
参考报价：
0
销售商：
总点击数：
1438
更新日期：
2026-04-01
产品类别：
性能参数
EVG®7200 Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography S
EVG®7200 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案（最大200毫米）
技术数据
EVG7200系统利用EVG的创新SmartNIL技术和EVG的材料专长来实现微米级和纳米级结构的批量生产。该系统将SmartNIL的高级软印和压印功能带到了更大的基板和更小的几何形状上，批量生产时的分辨率低至40 nm *。这带来了更大的拥有成本（CoO）收益，并实现了纳米压印光刻技术的全部制造潜力。
*分辨率取决于过程和模板
特征
体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度
专有的SmartNIL®技术和多次使用的聚合物印模技术
集成式压印，UV固化，脱模和工作印模制作
盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式
可选的顶部对齐
可选的迷你环境
适用于所有市售压印材料的开放平台
从研发到生产的可扩展性
系统外壳，可实现最佳过程稳定性和可靠性
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）75至200毫米；
解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：SmartNIL®
曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm²
对准：可选的顶部对齐
自动分离：支持的
迷你环境和气候控制：可选的
工作印章制作：支持的
EVG®7200 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案（最大200毫米）
技术数据
EVG7200系统利用EVG的创新SmartNIL技术和EVG的材料专长来实现微米级和纳米级结构的批量生产。该系统将SmartNIL的高级软印和压印功能带到了更大的基板和更小的几何形状上，批量生产时的分辨率低至40 nm *。这带来了更大的拥有成本（CoO）收益，并实现了纳米压印光刻技术的全部制造潜力。
*分辨率取决于过程和模板
特征
体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度
专有的SmartNIL®技术和多次使用的聚合物印模技术
集成式压印，UV固化，脱模和工作印模制作
盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式
可选的顶部对齐
可选的迷你环境
适用于所有市售压印材料的开放平台
从研发到生产的可扩展性
系统外壳，可实现最佳过程稳定性和可靠性
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）75至200毫米；
解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：SmartNIL®
曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm²
对准：可选的顶部对齐
自动分离：支持的
迷你环境和气候控制：可选的
工作印章制作：支持的
公司简介
上海银雀科技成立于 1998 年，成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前公司已经与众多微电子、半导体设备行业的国际知名企业建立了良好的合作关系；EVG（光刻、键合）、Bruker（微纳检测）、TESCAN（扫描电镜） 是其中几家重要的合作伙伴。
售后服务
相关视频
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资料下载
暂无
联系方式
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详细地址：
上海市嘉定工业区叶城路
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qq：
1255610068
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联系电话：
0632-5976067
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