EFA电性失效分析系统(EBIC及EBAC)
最高分辨率下表征样品连接处的性能
- 亚微米平面分辨率下揭示电路集成
- 诊断电路结构和其他长期课题，包括电路污染、金属花斑缺陷（pattering defects），电阻互联板（resistive interconnectors）或者电迁移（electro-migration）
- 直接辨别电路缺陷到具体某一层和失效的具体位置，迅速改进从而有效提生产品质量
对样品中的开路、有阻值或者短路缺陷进行精准定位
- 对金属线中由于断裂、腐蚀、电子迁移或者外来颗粒造成的电路阻断进行精准定位
- 准确识别连接处由于界面污染造成的电阻开路
- FIB制样过程中精准定位，为透射电镜做出高质量样品
可在在很薄的绝缘体层中确定缺陷位置
- 在彻底失效前，直接观测栅极氧化层（GOX）和氧化电容器（COX）中的缺陷，并对其精准定位
- 亚微米分辨率下，精准定位由静电放电（ESD）和过电应力（EOS）导致的氧化物短路
- 定位过程中，通过低至nW级的电力损耗，可有效保护样品的原始缺陷特征
1欧姆精度下，可对低至100欧姆电阻结构制图
- 高空间分辨率下绘制电阻图，受限于扫描电镜的 电子束和样品作用体积(interaction volume)
- 确认电阻和电容中相对标称值的偏离
- 揭示CMOS的连接、电阻和电容结构中的损坏和失效机理
适用于SEM/FIB的纳米探针样品台
- 最高达8个纳米探针机器人，用于纳米分辨率下的X，Y，Z轴运动和旋转
- 可取出的附带原位电器的纳米探针样品台，用于低噪音快速分析
- 完全的软件集成和软件控制
- 也适用于光学显微镜
电 话：010-62369061
Email: sem@ylcorp.com.cn www.ylcorp.com.cn
裕隆时代，是专业致力于材料显微观测及微区分析的科学仪器及实验设备供应商，向科研人员提供高品质分析仪器和高附加值服务。帮助用户快速便捷地获取高质量的微观形秒图像、可靠的分析数据，助力中国科学技术发展。
作为生产厂商，裕隆时代向客户提供性能卓越的LJ-18M磁控离子溅射仪、LJ-16离子溅射仪、ArFab100氩离子抛光仪、MAX-8000微区X射线荧光光谱仪、MCP100精密切抛一体机（精研一体机）、电解双喷减薄、离子减薄仪、精密金刚石切割机等实验设备，以及实验耗材（VACSEAL真空堵漏胶、原装预对中灯丝、导电胶、微栅铜网、电镜样品载物台等），全面满足科研人员对材料微观观测及分析要求。
裕隆时代主要产品还包括FusionScope（SEM+AFM）（形貌、成分、力学、电学和磁学）综合原位分析系统、扫描电镜、台式透射电镜、TEM原位加热电学力学系统、纳米粒子发生器、EBIC电子束感生电流分析系统等。
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