CCU-010 LV_SP-010磁控离子溅射镀膜仪
紧凑型、模块化和智能化
CCU-010为一款结构紧凑、全自动型的离子溅射和/或蒸发镀碳设备,使用非常简便。采用独特的插入式设计,通过简单地变换镀膜头就可轻松配置为溅射或蒸镀设备。在镀膜之前和/或之后,可以进行等离子处理。模块化设计可轻松避免金属和碳沉积之间的交叉污染。CCU-010标配膜厚监测装置。
特点和优点
✬高性能离子溅射
✬独特的即插即用溅射模块
✬一流的真空性能和快速抽真空
✬结构紧凑、可靠且易于维修
✬双位置膜厚监控装置,可兼容不同尺寸的样品
✬主动冷却的溅射头可确保镀膜质量并延长连续运行时间
巧妙的真空设计
CCU-010 LV精细真空镀膜系统专为SEM和EDX的常规高质量溅射镀膜和镀碳而设计,CCU-010 LV_SP-010为磁控离子溅射镀膜仪。模块化的设计可将低真空单元很轻松地升级为高真空单元。特别选择和设计的材料、表面和形状可大大缩短抽真空时间。两个附加的标准真空法兰允许连接第三方设备。
溅射模块 SP-010 & SP-011
两种溅射模块一旦插入CCU-010 LV镀膜主体单元,即可使用。
SP-010和SP-011溅射模块具有有效的主动冷却功能,连续喷涂时间长-非常适合需要较厚膜的应用;可选多种溅射靶材。
SP-010溅射装置的磁控组件旨在优化靶材使用。这使其成为电子显微镜中精细颗粒贵金属镀膜的理想工具。对于极细颗粒尺寸镀膜,推荐使用涡轮泵抽真空的CCU-010 HV镀膜主体单元。
SP-011溅射装置的磁控组件用于大功率溅射和宽范围材料的镀膜。对那些比常规EM应用要求镀膜速率更高、膜层要求更厚的薄膜应用时,推荐使用该溅射头。
等离子刻蚀单元 ET-010
在对样品进行镀膜之前或镀膜之后,可以对样品进行等离子刻蚀处理。使用该附件,可以选择氩气、其它蚀刻气体或大气作为处理气体。这样可以在镀膜前清洁样品,增加薄膜的附着力。也可在样品镀膜后进行等离子刻蚀处理,从而对膜层表面进行改性。
RC-010手套箱应用的远程控制软件
◎基于window的远程控制软件
◎创建和调用配方
◎实时图表,包含导出功能(Excel、png等)
◎自动连接到设备
可选多种样品台
CCU-010提供一个直径不小于60mm的样品台,该样品台插入到高度可调且可倾斜的样品台支架上。可选其它专用的旋转样品台、行星台、载玻片样品台等。
CCU-010 LV系列镀膜仪版本
除了CCU-010 LV磁控离子溅射镀膜仪之外,还可以选择:CCU-010 LV热蒸发镀碳仪;CCU-010 LV离子溅射和镀碳一体化镀膜仪;CCU-010 LV手套箱专用镀膜仪。所有CCU-010 LV版本均采用TFT 触摸屏操控,配方可编程,保证结果可重复;具有断电时系统自动排气功能,防止系统被前级泵油污染。
南京覃思科技有限公司成立于2004年,总部位于南京,在北京设有分公司,业务覆盖全国及港澳地区。公司专注于电子光学与实验室科研领域的仪器及耗材销售与技术服务,主要产品涵盖电子显微镜、光学显微镜、X射线、Micro CT 等相关仪器及配套软硬件。
作为多家国际知名品牌的中国区授权代理,覃思科技长期合作的品牌包括:荷兰 Delmic、美国 JC Nabity、瑞士 Safematic、美国 Tousimis、加拿大 Dragonfly、荷兰 ASI、美国 PIE Scientific、法国 TRAD、丹麦 DeltaPix、加拿大 KA Imaging、韩国 LabSpinner 和荷兰 Micro to Nano。
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我们的客户广泛分布于高校、科研院所、医疗机构、政府机关及工业企业,长期合作单位包括北大、清华、浙大、南大、东大、复旦、同济、上海交大、中科大等名校;中科院微生物所、遗传所、生物物理所、近代物理所、微电子所、等离子所、植生所、水生所、寒旱所、金属所、海洋三所、上海光机所、长春应化所、山西煤化所、广州能源所、上海石化院、大庆油田、胜利油田、国家纳米中心、紫金山天文台等知名科研机构;广西、山东、宁波等检验检疫局,北京法医鉴定中心等国家机构;Intel英特尔、博世Bosch、希捷Seagate等跨国企业;华为、天马、首钢等国内骨干企业。
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