原子力显微镜
产品功能
成像模式:配备接触式扫描、轻敲式扫描、静电力扫描、磁力扫描、力曲线、开尔文功能 闭环分辨率:XY轴:0.2 nm,Z轴:0.05 nm 扫描范围:XY轴:40 μm × 40 μm,Z轴:8 μm(可升级至100 μm选配) 导电样品、绝缘样品、生物样品表面形貌及理化性质检测 (最大样品尺寸:2.5 cm x 1 cm) (样品移动范围:1.2 cm x 1.2 cm)
技术参数
产品型号
Nano Tech 10
最大扫描范围
40 μm * 40 μm(可升级至100μm)
最大Z轴范围
8 μm
Z方向控制分辨率
0.05 nm
XY方向控制分辨率
0.2 nm
探针-样品逼近
步进+压电式
最大样品尺寸
2.5 cm * 1 cm
适用领域
半导体晶圆缺陷检测;材料类表面形貌、粗糙度、力学特性、局域电学特性等;生命科学;生物医学。
产品成像
轻敲模式
接触模式
力曲线
18015426005