芯片与生物信息学

氮化硅膜定制服务

基本信息
服务名称:
氮化硅膜定制服务
英文名称:
Silicon Nitride Membrane Custom Service
参考报价:
总点击数:
533
更新日期:
2019-04-19
服务类别:

服务详情
原位芯片是一家专业制造氮化硅薄膜窗口的高科技芯片公司,凭借十多年的MEMS工艺经验,原位芯片可以为您设计定制适用于各种电镜的氮化硅膜窗格,以满足各类实验需求。 原位芯片定制产品均在百级洁净环境中制备,定制参数范围广,采用高效的定制流程为广大高效,科研人员提供专业的定制服务。

 
定制参数 项目特性
硅基底厚度 100—1000μm
外框尺寸 1μm
氮化硅薄膜厚度 15—2000nm
氮化硅薄膜应力 50—1000Mpa
薄膜窗口尺寸 3μm—15mm
表面薄膜金属(Au/Pt/Cu/Ti/Cr等数十种) 5—2000nm
表面氧化物、化合物(SiO2/Al2O3等数十种) 5—2000nm
金属、化合物的图形化最小线条宽度 50nm
硅凹槽通道刻蚀 50nm—1000μm
氮化硅薄膜刻蚀盲孔通孔 5nm
其他数十种微纳米MEMS工艺
公司简介

苏州原位芯片科技有限责任公司成立于2015年,由清华大学和中科院微电子专业人士共同创立,并获得国内顶尖VC机构千万级投资。公司专注于新型MEMS芯片与模组的研发、生产和销售。掌握40多项领先MEMS技术,拥有芯片设计、工艺开发、流片生产和测试的全流程自主研发、自主生产能力。

MEMS芯片凭借高精度、低成本、体积小的特点,拥有千亿级的广阔市场空间,公司已推出多款打破国外垄断产品,其中自主研发的氮化硅薄膜窗口产品凭借优异的薄膜洁净度和高强度,获得广大TEM和同步辐射研究人员的高度好评。公司已申请十余项发明、实用新型专利。未来还将推出多款新型MEMS芯片。

公司已与多家研究所、大学、医疗、工业、智能装备等行业的企事业单位建立了良好的合作伙伴关系。凭借国内领先的核心技术,公司成员齐心协力,致力于成为世界领先的生物MEMS技术公司。为更好的世界,提供更好的芯片!


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