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空气粒子计数器在洁净环境中的实验方案

2025-09-09     来源:本站     点击次数:48

一、实验目的
1.验证洁净操作间的微粒浓度是否持续符合ISO 8级洁净度标准(0.5μm微粒≤352000个/m³,5.0μm微粒≤2930个/m³),保障实验环境稳定性。
2.评估HEPA过滤器的过滤效率(需≥99.97%)及洁净工作台的净化性能,确认关键设备是否正常运行。
3.建立洁净环境微粒浓度异常的溯源方法,为后续污染应急处理提供依据。
、使用的仪器和设备
1.普洛帝在线空气粒子计数器:型号DPC--2602,最小检测粒径0.3μm,采样流量2.83L/min,支持数据自动存储与超标报警(3台,分别布设在关键点位)。
2.普洛帝便携式空气粒子计数器:型号DPC--2602,最小检测粒径0.1μm,采样流量1L/min,支持手持移动检测(1台,用于设备验证与异常溯源)。
3.辅助工具:温湿度计(监测环境温湿度,确保检测条件稳定:温度20-25℃,湿度45%-65%)、采样管(长度1m,用于HEPA过滤器进/出风口检测)、数据记录仪(配套在线式计数器,存储7天监测数据)。
实验检测数据
1.日常监测数据(单位:个/m³)
监测时段 操作台上方(0.8m)  人员呼吸带(1.5m)  通风口下方(1m)
0.5μm 5.0μm 0.5μm 5.0μm 0.5μm 5.0μm
第1天8:00 285000 2100 292000 2250 278000 2050
第1天14:00 301000 2300 315000 2400 290000 2200
第1天 20:00 276000 2000 288000 2150 265000 1980
2.设备验证数据
- HEPA过滤器:进风口0.5μm微粒浓度1250000个/m³,出风口0.5μm微粒浓度2800个/m³,过滤效率=(1-2800/1250000)×100%≈99.78%。
- 洁净工作台:5个监测点0.5μm微粒浓度分别为3200、3150、3300、3250、3180个/m³,均符合ISO 5级标准(≤3520个/m³)。
、实验结论
1.洁净操作间日常监测的0.5μm和5.0μm微粒浓度均低于ISO 8级标准限值,且7天内数据波动较小(0.5μm波动范围260000-320000个/m³),说明洁净环境整体稳定,满足实验需求。
2.HEPA过滤器过滤效率约99.78%,略低于标准要求(≥99.97%),需及时更换过滤器以保障净化效果;洁净工作台各监测点微粒浓度符合ISO 5级标准,设备运行性能正常。
3.异常溯源实验表明,洁净间门开启是导致微粒浓度超标的主要原因,且污染从门口向内部扩散,关闭门后30分钟环境可恢复正常,后续需加强人员操作规范,减少门开启时间与频次。
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