文章

压电喷墨与EHD微纳沉积技术在胶体量子点红外焦平面阵列制备中的应用

2026-07-06     来源:本站     点击次数:102

量子点红外传感器凭借波段可调、室温探测、低成本优势,成为车载、工业视觉、军工遥感主流下一代红外器件,但传统旋涂、真空蒸镀存在材料损耗高、无法像素化、大面积均匀性差等痛点,传统的物理键合工艺已触及成本与分辨率的天花板。如何将高性能的胶体量子点(CQD)材料稳定、精准地集成于 CMOS 晶圆之上?上海睿度光电凭借行业领先的压电喷墨(Inkjet)与电流体沉积(EHD)技术,给出了最优解,睿度光电MicroFab Jetlab、RD-EHD两大系列,形成高低精度互补工艺方案,全方位适配胶体量子点红外传感器从材料研发、原型打样到阵列中试全流程制造需求。

一、压电与 EHD:量子点集成的“精密画笔”
在睿度的工艺体系中,我们不再依赖昂贵的倒装芯片技术,而是通过材料工程与精密流体技术的深度融合,实现量子点薄膜的晶圆级制备:
压电喷墨(Inkjet)技术: 睿度利用先进的压电驱动头,能够精准控制皮升(pL)级别的量子点墨滴。针对不同的红外探测波段,我们的喷印系统能实现多材料兼容、大面积、超平整的薄膜涂布,完美解决了传统工艺中厚度不均导致的成像噪点问题。

电流体沉积(EHD)技术: 面对更高端的微纳尺度集成需求,睿度引入了 EHD 技术。该技术通过高压电场引导液滴,能够突破传统喷墨的流体物理限制,实现亚微米级的超高分辨率图案化沉积。这使得在微小的像素阵列上,每一颗量子点都能被精准“摆放”,大幅提升了传感器的灵敏度与一致性。

二、睿度的核心技术护城河
睿度的优势不仅在于设备,更在于“设备+材料”的软硬协同:
定制化墨水工程: 经验丰富的专业工程师可协助调整墨水配方,解决了量子点在打印过程中的团聚与沉淀难题,通过引入高性能大分子位阻剂与流变学调控,确保每一滴墨水在喷射过程中都具有极佳的稳定性。
全流程工艺匹配: 睿度提供从墨水调配、打印路径规划到固化成膜的端到端解决方案。针对半导体晶圆表面特殊的物理特性,我们通过特殊的润湿控制技术,彻底消除了边缘“咖啡环”现象。
高性能整机设备: 睿度自主研发的专用量子点沉积设备,集成了高精度的视觉对准系统与恒温恒湿的惰性气体处理环境,确保量产过程中的良率达到工业级标准,满足从研发测试到大批量生产的全生命周期需求。

三、赋能万物,重塑感知
目前,睿度的量子点红外传感器解决方案已在半导体晶圆检测、车载智能感知、消费电子红外视觉等多个领域展现出压倒性的优势。相比传统工艺,睿度的方案可将制造成本降低 90% 以上,并实现前所未有的高像素分辨率。
上海睿度光电正以“精密印刷”定义未来红外感知,实现压电 + EHD 双工艺自主可控,整机国产化设计,交付周期短、本地化技术服务配套完善,打破进口微纳沉积设备技术封锁,为国内量子点红外传感器企业提供低成本、高良率全链条制造解决方案,加速红外感知产业自主化落地。

了解RUIDU皮升级微阵列生物芯片点样平台
了解更多应用

相关文章 更多 >