中国电子行业超纯水国家标准
2017-07-20 来源:本站 点击次数:231电子行业对超纯水的要求：
电阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%时间）不低于17 15（95%时间）不低于13
硅≤μg/l 2 10
>1μM微粒数≤个/ml 0.1 5
细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
铜≤μg/l 0.2 1
锌≤μg/l 0.2 1
镍≤μg/l 0.1 1
钠≤μg/l 0.5 2
钾≤μg/l 0.5 2
氯≤μg/l 1 1
硝酸根≤μg/l 1 1
磷酸根≤μg/l 1 1
硫酸根≤μg/l 1 1
总有机碳≤μg/l 20 100
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