钨灯丝扫描电子显微镜选型指南

2018-12-02 来源:本站点击次数:935

材料微观机理对于材料宏观性能至关重要，作为强大的综合材料分析仪器扫描电镜，能够让人们看到微纳米尺度精细形态结构，还可以对微区进行化学成分乃至晶体结构取向测试粉丝，从而指导科研人员改善工艺提高材料性能。
钨丝枪扫描电镜结构较为简单，价格较为经济，满足绝大多数材料研发基本需求。一系列钨丝枪扫描电镜，请按照如下应用指南选型。

钨丝枪扫描电镜基本结构原理示意图

1、CUBE-200台式扫描电镜【微型扫描电镜】

CUBE-200台式电镜

主要应用：
获得纳米级分辨率表面形貌结构，适合微米亚微米目标特征形貌及主要化学成分分布。
突出特征：大型电镜成像能力，简易EDS分析，便携式。
配置性能：

主要配置	性能指标
电子光学系统	钨丝枪，5nm@30KV SE Imaging
成像探测器	E-T型SE探测器（标）；半导体BSE探测器（选）
分析附件探测器（选购）	专用简易EDS（硅漂移电制冷探测器）
真空系统	涡轮分子泵真空系统
样品仓，样品台	小型仓，三轴马达驱动样品台（XYZ: 45,45,50）mm
软件	电镜操作软件（嵌入图像处理测量软件）
选购图像软件	立体对图像3D重构测量；表面粗糙度分析；颗粒度分析

2、Genesis-I型（Genesis-500）立式扫描电镜【小型扫描电镜】

驰奔Genesis-I型扫描电镜

主要应用：

获得纳米级分辨率表面形貌结构，适合微米亚微米目标特征形貌，
更专业精确的化学成分分布信息。

突出特征：可接配专业能谱仪获得更精确化学定量结果，速度更快。
配置性能：

主要配置	性能指标
电子光学系统	钨丝枪，4nm@30KV SE Imaging
成像探测器	E-T型SE探测器（标）；半导体BSE探测器（选）
分析附件探测器（选购）	专业级EDS（含简易操作功能）
真空系统	涡轮分子泵真空系统
样品仓，样品台	小型仓，五轴优中心样品台（XYZRT: 40,40,45,360°，90°）mm
软件	电镜操作软件（嵌入图像处理测量软件）
高级图像软件（选购）	立体对图像3D重构测量；表面粗糙度分析；颗粒度分析

3、Genesis-II型（510）立式扫描电镜【紧凑型扫描电镜】

驰奔Genesis-II型专业拓展扫描电镜

主要应用：
获得纳米级分辨率表面形貌结构，适合微米亚微米目标特征形貌，高精度化学成分分布、晶体结构取向分布。

突出特征：中型样品仓，五轴优中心马达驱动样品台，适合连续大面积扫描，方便原位观察。，

配置性能：

主要配置	性能指标
电子光学系统	钨丝枪，4nm@30KV SE Imaging
成像探测器	E-T型SE探测器（标）；半导体BSE探测器（选）
分析附件探测器（选购）	专业级EDS（含简易操作功能） WDS EBSD CL…
真空系统	涡轮分子泵真空系统
样品仓，样品台	中型仓，五轴优中心样品台，全自动控制（XYZRT: 90,60,60,360°，90°）mm
软件	电镜操作软件（嵌入图像处理测量软件）
高级图像软件（选购）	立体对图像3D重构测量；表面粗糙度分析；颗粒度分析

4、Veritas-300 大型样品仓扫描电镜

驰奔 veritas 大样品仓扫描电镜

主要应用：
获得纳米级分辨率表面形貌结构，适合微米亚微米目标特征形貌，主要化学成分分布，晶体机构取向分布等，能够满足多种微纳米操纵系统的接配。

突出特征：大型样品仓，满足大块不宜切割样品观察，更大操纵空间。
配置性能：

主要配置	性能指标
电子光学系统	钨丝枪，4nm@30KV SE Imaging
成像探测器	E-T型SE探测器；半导体BSE探测器（选）
分析附件探测器（选购）	专业级EDS（含简易操作功能） WDS EBSD CL…
真空系统	涡轮分子泵真空系统
样品仓，样品台	中型仓，五轴优中心样品台，全自动控制（XYZRT: 120,120,65,360°，90°）mm
软件	电镜操作软件（嵌入图像处理测量软件）
高级图像软件（选购）	立体对图像3D重构测量；表面粗糙度分析；颗粒度分析